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推力特性平滑;无纹波推力和电磁吸力;运动质量轻,加速度大;模块化设计;行程可任意延长
主要应用:
半导体生产制造设备,包括晶圆制造和 晶片封装设备
平板显示器产业(FPD )精密测试设备、激光器件耦合对心
硬盘制造、连接器制造、激光成像、印刷制板设备
生命科学、医疗设备、机器视觉检测设备、各种取放装置
电子元件表面贴装、PCB 检测设备如AOI、飞针测试仪
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